ターボ分子ポンプ“ET-Wシリーズ”

型式	ET300W	ET450W	ET600W	ET1301W	ET2500W	ET3300W
最大排気速度（L/s）	300	460	600	1300	2500	3300

特長

1. 大流量・広圧力域排気
2. 高い耐食性（耐食仕様：WS型）
3. 高温化による生成物対策
   （高温化仕様：WS-A型）
4. 充実した保護機能

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