ターボ分子ポンプ“ETAシリーズ”

型式	ETA500	ETA1300	ETA2500	ETA4000
最大排気速度（L/s）	500	1300	2500	4000

特長

1. 高背圧（10³Pa以上）での排気可能
2. 小形バックポンプとの組合せ可能
3. 排気系の簡素化可能
4. 高い耐食性（耐食仕様：S型）
5. 高圧縮比（10⁵以上：H₂)
6. 高出力・コンパクトコントローラ
7. 充実した保護機能

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