ドライ真空ポンプ“ESTシリーズ”

ESTシリーズは反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュウ型ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付加価値、電力消費量の低減をも実現した独立設置型ドライポンプです。

型式	EST10N	EST25N	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN
排気速度 (L/min)	1000	2500	10000	20000	30000	50000

特長

1. 反応副生成物発生プロセスに最適
2. 大排気速度・許容大流入ガス量を実現
3. 回転数自動制御機能装備
4. 腐食性ガスに対応
5. 高性能通信機能搭載
6. ポンプ高度制御方式採用
7. ポンプの大型化に伴う搬送性低下を防止

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