ドライ真空ポンプ“ESRシリーズ”

ESRシリーズはロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ型ドライポンプです。

型式	ESR20N	ESR30 ESR30N	ESR80W ESR80WN	ESR200W ESR200WN	ESR300W ESR300WN
排気速度(L/min)	1300〜2000	1500〜3000	4000〜8500	10000〜20000	15000〜30000

注記
*	排気速度は回転数制御設定によります。
*	"N"タイプは耐食仕様です。

特長

1. 軽負荷〜腐食性ガス使用プロセスに最適
2. 低ランニングコスト・省エネルギー・最大60%減
   （当社 AA型シリーズ比）
3. 軸シールN₂不要(ESR20N)
4. 小型・軽量・最大40%減
   （当社 AA型シリーズ面積比）
5. ポンプ回転制御機能拡充
6. 高性能通信機能搭載
7. ポンプ高度制御方式採用

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