ESAシリーズはLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、ガス負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。 |
| 型式 | ESA300W | ESA300W-A |
| 排気速度(L/min) | 30000 | |
| アプリケーション | 大型ロードロック・スパッタリング・液晶コータ-デベロッパ・その他クリーン真空排気等 | 液晶レジストコータ・配向膜塗布 その他有機溶剤排気用途 |
特長
- 大型真空チャンバの高速排気用途に最適
- 回転数自動制御機能装備
- 大径ロータ採用によるコンパクト設計
- 有機溶剤排気用の特別仕様も選択可能
- 高性能通信機能搭載
- ポンプ高度制御方式採用
- ポンプの大型化に伴う搬送性低下を防止
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