真空機器 - 荏原製作所

ESRシリーズはロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ型ドライポンプです。

ESTシリーズは反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュウ型ロータを採用し、許容流入ガス量最大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付加価値、電力消費量の低減をも実現した独立設置型ドライポンプです。

ESAシリーズはLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、ガス負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。

VOSシリーズはプロセス装置内臓やCR内のわずかなスペースの有効利用を目的とし、ロードロック室・SEMや絶縁膜エッチングプロセスまでのアプリケーションを対象に新規設計された超小型・軽量・装置搭載対応用のドライポンプです。

5軸制御磁気軸受によってロータを安定に浮上させ、非接触で高速回転を実現しています。タービン翼下流にねじ溝ロータを設け、高い圧力領域まで大流量のガス排気を可能にしています。

5軸制御磁気軸受によってロータを安定に浮上させ、非接触で高速回転を実現しています。高背圧状態での排気速度、圧縮比の向上を実現しました。

真空ポンプや排ガス処理装置など、排気系全体を遠隔集中監視するシステムです。