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精密・電子事業カンパニー

湿式排ガス処理装置

GSRシリーズはユニークなかくはん槽(接ガス反応に必要な微細気泡を生成)を搭載し、中和液供給ユニットの装備によりTLV値以下の除去効率を確保。また低ランニングコストを達成した湿式排ガス処理装置です。

特長

  1. 低ランニングコスト
    (当社比約1/7)
  2. 省スペース設計
    (当社比最大60%減)
  3. 中和液供給機能搭載
    (GSR100Lの場合、オプション機能となります)
湿式排ガス処理装置

型式 GSR100S GSR100L
最大ガス流入量(L/min) 120
対象ガス例 F2・Cl2・SiF4・HCl・BCl3・HBr・NH3

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