GSRシリーズはユニークなかくはん槽(接ガス反応に必要な微細気泡を生成)を搭載し、中和液供給ユニットの装備によりTLV値以下の除去効率を確保。また低ランニングコストを達成した湿式排ガス処理装置です。 |
特長 | |
|
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| 型式 | GSR100S | GSR100L |
| 最大ガス流入量(L/min) | 120 | |
| 対象ガス例 | F2・Cl2・SiF4・HCl・BCl3・HBr・NH3等 | |
| 湿式排ガス処理装置に関するお問い合わせ |
GSRシリーズはユニークなかくはん槽(接ガス反応に必要な微細気泡を生成)を搭載し、中和液供給ユニットの装備によりTLV値以下の除去効率を確保。また低ランニングコストを達成した湿式排ガス処理装置です。 |
特長 | |
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| 型式 | GSR100S | GSR100L |
| 最大ガス流入量(L/min) | 120 | |
| 対象ガス例 | F2・Cl2・SiF4・HCl・BCl3・HBr・NH3等 | |
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