PJ型シリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャーポンプです。ポンプ内面に電解研摩を施すことにより表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルが吐出し水に混入しないように工夫されています。

特長

1. シンプル構造
   ウェーハ1枚の洗浄は1ストロークの動作で行います。超純水に触れる部分をできるだけ少なくしたシンプルな構造により、パーティクルの発生を抑えています。
2. クリーンシール
   ダスト防止ワイパは、高圧シール部で発生するパーティクルが吐出し水に混入することを防止します。
3. キープクリーン
   オーバフロー機構によってポンプ停止中もポンプ内は新鮮な水で満たされます。また、水の停留がないためバクテリアの発生が防止でき、長期停止後の立ち上がり時間が短縮できます。
4. 容易なメンテナンス
   クリーンな吐出し水はフィルタ交換の手間がかかりません。