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精密・電子事業カンパニー

ノンパーティクルポンプ

NDC型シリーズはウルトラクリーンが要求される半導体及び液晶製造プロセス等に使用される最適な超純水及び薬液の移送・加圧用小形マグネットポンプです。動圧軸受の採用により機械的接触が一切なく、ポンプ内からのパーティクルの発生を微少に抑えます。また、金属イオン溶出や、脈動もほとんどありません。

特長

  1. ノンパーティクル
    動圧軸受の採用により機械的接触が一切なく、ポンプからの発じんが微少に抑えられます。
  2. 高品質
    高純度セラミックス、四ふっ化樹脂の採用により、金属イオン溶出がほとんどありません。
  3. 低脈動
    遠心ポンプなので脈動がほとんどなく、フィルタからの再放出が抑えられ、ろ過特性が向上します。
  4. コンパクト・低振動・ノンシール・可変速・50/60Hz共用
ノンパーティクルポンプ

基礎試験データ

パーティクル測定値(個/mL)
各回転速度における連続運転時のポンプの発じん量(0.1μm以上)を示します。
高速・低速回転の切替運転ができますので、送液時はあらかじめ最適に設定した高速回転とし、不要時はポンプを停止せずに低速回転に切り替えてご使用になりますと、常時、発じんのない状態でご使用いただけます。低速回転時の電力消費量は微少に抑えられます。

パーティクル測定値(個/mL)

ろ過特性(個/mL)
0.212μmの標準微粒子10000個/mLを注入したオーバフロー槽内を、循環ろ過した場合の濃度変化を示します。

ろ過特性(個/mL)

選定図

選定図

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