GDCシリーズは温暖化ガスであるPFCガスを含む半導体プロセスガスを高効率に分解除去し、燃焼反応部の容易なメンテナンスを可能にする生成物自動除去機能（スクレーパ）により製品アップタイムを向上させた燃焼式排ガス処理装置です。また様々なインターロック機能を採用し、高い安全性を確保しました。

特長

1. 可燃性・活性・不活性ガスの処理に最適
   （特別管理物質を除く）
2. プロセスガスとクリーニングガスを同時処理可能
3. 低ランニングコスト
   (処理対象ガスに応じて燃料供給量可変）
4. 高アップタイムと簡単メンテナンス設計
   (自動スクレーパによりメンテナンス性向上）
5. 各種安全対策標準装備