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精密・電子事業カンパニー

EPIX微量ガス除去フィルタ

クリーンルーム内の微量ガスをキャッチ!!

EPIX微量ガス除去フィルタ

特長

  1. 既存のクリーンルーム内への取付けが容易
    素材が不織布のため、フィルタが軽量でまた、圧力損失も少ない。
  2. 極低濃度のガス除去にも優れた効果を発揮
    イオン交換基密度が高いために、反応速度が速い。
  3. 下流側への不純物の放出がない
    製品中に触媒等の不純物が含まれない。
  4. 雰囲気の温度上昇に伴う吸着ガスの再放出がない
    (最高使用温度=50℃)
  5. イオン交換不織布の組合せが自由に選択できる
EPIX微量ガス除去フィルタ

除去性能例

測定条件(風速:0.5m/s、温度:25℃、湿度:40%)
微量ガス NH4+ B Cl- NO3- SO42-
入口濃度(ng/m3−Air) 5700 5.6 110 400 990
出口濃度(ng/m3−Air) < 20 0.5 < 40 30 72

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