GTシリーズは処理対象プロセスガスに応じて最適な吸着剤を選定することでTLV値以下の除去性能を発揮し、ユーティリティー消費を軽微に抑え、高い安全性を確保した乾式排ガス処理装置です。 |
特長
- 規模・用途により機種選択可能
- ガス処理検知システム標準装備
- 省スペース設計
- 簡単メンテナンス設計
- 2槽式反応槽搭載タイプも選択可能
| 型式 | GTEシリーズ | GTCシリーズ | GTIシリーズ |
| 対象プロセス | ドライエッチング | CVD | イオン注入 |
各GTシリーズは、処理対象ガス別に反応槽を選択します。
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