拝啓 貴社ますますご清栄の段、御慶び申し上げます。平素は格別のご高配を賜り、厚くお礼申し上げます。
さて、一般にターボ分子ポンプの動翼には寿命が存在し、長期間に渡り使用された場合、クリープ現象、腐食の進行等により運転中に動翼円筒部が縦割破壊を起こす場合があります。従いまして、弊社では、お客様に対して、定期的なメンテナンスを行ない、必要に応じて動翼の交換を行なうことを推奨しております。
さらに、弊社のターボ分子ポンプは、何らかの理由によって運転中に動翼円筒部が縦割破壊を起こした場合にも、破壊部分の飛散などによって安全性が損なわれないように設計しております。
しかしながら、最近になって動翼円筒部が設計上の想定とは異なる破壊モードで破壊するケースがあることが判明致しました。
新たに判明した破壊モードで動翼円筒部が破壊した場合には、ステータ側へ想定外の力がかかり、ボルトの抜け落ちやケーシング（ET800H/ET801H:アルミニウム合金製）の割れ等によってステータが脱落するなどの問題が発生する可能性があります。そこで弊社では安全性強化のために、対策部品を用意させていただきました。
つきましては、本書第１項記載の該当機種をご使用中のお客様におかれましては、出来るだけ早く、次葉以降に示します手順に従って弊社までご連絡いただき、部品交換や取付けを実施していただきたく、お願い申し上げます。
なお、対策が行なわれないまま運転を続け円筒部が破損した場合に、最悪、ケーシングの割れやステータの外れ、ステータとケーシング間に隙間が生じる等により、ポンプの内部ガスリークやポンプ部品の飛散、ポンプ落下等が想定されます。このため、ポンプ近傍に作業者がいる時に発生しますと、プロセスガスの吸入や飛散物により人身事故につながる可能性があります。従いまして、対策の実施を速やかに行なうとともに、それまでの間、運転中のポンプ近傍に立ち入らないようお願い申し上げます。
対策部品の取付けは、部品と同送される手順書に従い確実に実施願います。特にボルトの締め付けトルクにご注意下さい。締付け不足の場合はもちろんのこと、締付け過ぎの場合にも、アルミニウムの雌ネジが損傷することにより対策の有効性が損なわれますので、手順書に指示されたトルクにて実施してください。
対策を実施することで安全性を十分確保できると考えておりますが、今後の確証試験等により追加の対応が必要になった場合には、改めてご連絡させていただきますことをご了承願います。
今後とも品質の向上・改善に努めてまいりますので、変わらぬご愛顧・ご支援を賜りたく、宜しくお願い申し上げます。
弊社へのご連絡・ご用命は、弊社最寄りの精密電子事業カンパニー営業窓口にご連絡いただくか、本書第3項に記載のTMP自主改善活動チームまでご連絡いただきますようお願い申し上げます。 |
敬具 |
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| 1.該当機種 |
| 今回の自主改善活動該当機種は、下記の通りです。 |
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ET300W/ET300WS/ET300WS-A/ET300WS-H/ET300W-TF/ET300WS-TF※
ET600WS-A |
| ET600W/ET600WS/ET600WS-TF |
| ET800W/ET800WS/ET800WS-A |
| ET800H/ET801H/ET800H-TF/ET801H-TF |
| ET1600W/ET1600WS/ET1600WS-A |
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※ET300Wシリーズは、図１に示す通り、1ピースケーシング仕様と２ピースケーシング仕様が
ありますが、該当機種は２ピースケーシング仕様のみです。 |
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図１ ET300Wシリーズ 該非判定図 |
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2.弊社対応 |
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以下の手順で、対策部品の交換・取付け作業をお願い申し上げます。ご不明な点などにつきましては、弊社最寄りの精密電子事業カンパニー営業窓口にご連絡いただくか、本書第3項に記載のTMP自主改善活動チームまでご連絡いただきますようお願い申し上げます。なお日本国外のお客様におかれましては、同じく本書第3項記載の弊社海外現地法人までご連絡下さい （日本国外のお客様が下記日本国内連絡先にお尋ねになった場合、言語その他の要因にて対応が遅れる場合がございますのでご注意下さい）。
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| 1) |
弊社最寄りの精密電子事業カンパニー営業窓口、又は末尾記載のTMP自主改善活動チームにご連絡いただき、詳細案内書・作業手順書をご依頼下さい。 |
| 2) |
入手された詳細案内書に添付してございます連絡書（ターボ分子ポンプの無償交換部品に関する連絡書）に、該当機種のご使用台数等をご記入の上、ファックスまたはメールで弊社宛お送り下さい。 |
| 3) |
連絡書受領後、原則10日以内に、ご使用台数分の対策部品と作業手順書を無償にてお送りします。 |
| 4) |
お客様におかれましては、対策部品受領後速やかに交換・取付け作業を実施いただきたくお願い申し上げます。 |
| 5) |
作業完了後、対策部品と共にお送りする「交換/取り付け完了書」に所定の事項を記入の上、弊社宛ご返送お願い申し上げます。 |
| 6) |
ET800H/ET801Hにつきましては、出来るだけ早い時期にオーバーホールの実施をお願い申し上げます。 |
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| 日本国内修理の場合、原則としてポンプ受領後30日以内にオーバーホール実施したポンプを返送します。日本国外の修理の場合は、修理工場の有無により納期が異なりますので、弊社海外各拠点とご相談下さい。なおケーシングは無償にてステンレス鋼製へ交換致しますが、経年劣化による部品の交換については有償とさせて頂きます。 |
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| 3.お問い合わせ・ご連絡先 |
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ターボ分子ポンプ自主改善活動に関するお問い合わせは下記の通りです。お客様の所在国により、弊社担当拠点も変りますのでご注意下さい。
■日本国内におけるお問い合わせ及び連絡書送付先 |
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| 総合窓口： |
株)荏原製作所 TMP自主改善活動チーム |
| フリーダイヤル： |
0120-488-287
（国内のみ、月曜日〜金曜日 午前9:00 〜 午後16時30分） |
| 電話/FAX： |
03-5461-4033（東京事務所総合窓口）/ 03-5461-6009 |
| E-mail： |
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■日本国以外のお客様のお問い合わせ・及び連絡書送付先 |
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| China: |
Shanghai Ebara Precision Machinery Co.,ltd |
| Address: |
No.76 , Lane887, Zuchongzhi Rd, Zhangjiang High-Tech Park Pudong, Shanghai,P.R.China |
| Contact: |
Sales Dept |
| TEL/FAX: |
+86-(0)21-5131-7008 / 7048 |
| E-mail: |
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| Web: |
Not Available |
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| Korea: |
Ebara Precision Machinery Korea Inc |
| Address: |
20FL, Kangnam Bldg., 1321 Seocho-Dong,Seocho-ku, Seoul
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| Contact: |
Component Sales Dept |
| TEL/FAX: |
+82-(0)2-581-6901 / 4211 |
| E-mail: |
 |
| Web: |
http://ebara.co.kr |
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| Taiwan: |
Ebara Precision Machinery Taiwan Inc |
| Address: |
5, Tzu-Chiang Rd., Hsin-Chu Ind.Park Taiwan 303 |
| Contact: |
Component Sales Dept |
| TEL/FAX: |
+886-(0)3-597-8811 / 8833 |
| E-mail: |
 |
| Web: |
Not Available |
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| Singapore: |
Ebara Engineering Singapore Pte. Ltd
|
| Address: |
No 1, Tuas Link 2 Singapore 638550 |
| Contact: |
Component Sales Dept |
| TEL/FAX: |
+65-6862-3536 / 6863-1201 |
| E-mail: |
 |
| Web: |
http://www.ebara.com.sg |
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| U.S.A: |
Ebara Technologies Inc |
| Address: |
51 Main Avenue, Sacramento, CA 95838
|
| Contact: |
TMP Safety Enhancement Project |
| TEL/FAX: |
+1-916-923-7543/
+1-916-920-1033 |
| E-mail: |
 |
| Web: |
http://www.ebaratech.com |
|
| Europe: |
Ebara Precision Machinery Europe GmbH |
| Address: |
2-4, Adam Square, GB-Livingston, West Lothian EH54 9DE |
| Contact: |
Component Operation Dept |
| TEL/FAX: |
+44-1506-460232 / 460222 |
| E-mail: |
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| Web: |
http://www.ebara-pm.eu |
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| 4.注意事項とお願い |
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| 対策を実施するまでは、絶対に運転中のポンプ近傍へ近づかないで下さい。ポンプ近傍で作業を行う必要がある場合は、必ずポンプを停止（コントローラ電源遮断）して行って下さい。ポンプ近傍に作業者がいる時にケーシング割れやステータ側ボルトの破断や抜け落ちが生じると、人身事故が発生する可能性があります。 |
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| 5.ポンプオーバーホールのお願い |
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| 前述しました対策を実施することにより、ポンプは安全にご使用いただけるようになりますが、ポンプの動翼は定期交換が必要な消耗部品です。定期的な点検を行わずに継続使用しますと、ポンプ破損の起因となる動翼円筒部の縦割れ破壊が生じる可能性が高くなります。オーバーホールのご用命は別途弊社営業窓口までご連絡下さい。 |
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以上 |
