精密・藤沢工場

精密・藤沢工場は、1985年にスタートした精密・電子事業本部の工場で、藤沢事業所内に位置しております。1987年にV1工場、1989年にV2工場、1993年にV2工場増設、そして1998年にV3工場を建設しました。800億円/年間の生産能力をもつ工場です。　半導体製造装置としてのCMP装置やウエハめっき装置、各種コンポーネント機器としてのドライ真空ポンプ・排ガス除害装置、その他オゾン水製造装置や微量ガスを除去するEPIXケミカルフィルタなどの装置・機器類を製造しております。