社会基盤としての半導体・FPD産業の重要度が増しています。 精密・電子事業カンパニーでは、本格的なナノテクノロジー時代の到来を見据え、顧客ニーズに応じた各種コンポーネント機器、半導体製造装置を開発・製造・販売 してまいりました。 主力製品のドライ真空ポンプやCMP装置をグローバル市場に提供しご愛顧頂いております。さらに、次世代のノードに対応する、銅配線めっき装置、バンプめっき装置（ウェーハレベルパッケージおよび三次元実装）、ベベル研磨装置、電子ビーム欠陥検査装置といった各種装置を市場投入しています。