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環境事業カンパニー

ウェハ研磨排水リサイクル

特長

  • 高い回収率
  • 排水量の低減
  • 耐熱性、耐薬品性、長寿命の膜を使用
  • 広範なｐＨ領域に対応
  • ランニングコスト低減
半導体ウェハ製造工場での実施例

　

　

 セラミック膜ろ過
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